真空鍍膜機器設備的主泵形式分成二種，各自為有油真空泵和無油超濾裝置，這二種系統軟件的工作中形式全是不一樣的，下邊真空鍍膜設備廠家剖析主泵形式。      

有機油超濾裝置基本上是以油擴散泵為主泵，前面泵選用真空泵或是羅茨真空泵。我們知道，油擴散泵的工作壓力方向較為大，與此同時抽真空速度十分的高，可以做到每秒鐘十幾萬升。

其專業能力在業界是數一數二的，這也歸功于其具備優良的特性。從優勢上而言，有機油超濾裝置工作中靠譜，沒有震動，沒有噪聲，長壽命，維護保養建冊透現花費低，

是許多生產廠家都喜愛應用的。可是其缺陷也十分的顯著，便是會產生污染物，大規格型號泵在這些方面更為的比較嚴重。      

無油超濾裝置是應用分子泵和低溫泵做為主泵的，其特性關鍵集中化在可以持續很多抽真空，能夠得到清理無油的極高真空泵。而且該開機啟動時間快，停泵時間較短。

可是該系統軟件抽重汽體比抽輕汽體快，對水蒸汽種類的的泵效較慢，當汽體很多歷經泵的情況下，

泵效便會降低的迅速。